標(biāo)題:微操作機器人系統(tǒng)的研究開發(fā)

  微機械電氣系統(tǒng)(micro-electro-mechanical systems,mems)這一前沿技術(shù)主要涵蓋以下研究專題:①集成化微型儀器與傳感器;②微加工與測試技術(shù);③微操作系統(tǒng)。
  微操作系統(tǒng)作為mems研究領(lǐng)域的一個重要分支受到各發(fā)達(dá)國家的高度重視,紛紛投入大量資金進(jìn)行微操作機器人系統(tǒng)的研究,現(xiàn)已研制出多種各具特色的微操作機器人實驗樣機系 ……(快文網(wǎng)http://hoachina.com省略304字,正式會員可完整閱讀)…… 
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算機伺服自動協(xié)調(diào)作業(yè)上。長遠(yuǎn)觀之,其相關(guān)技術(shù)與微加工、微電子、顯微醫(yī)學(xué)等可觸類旁通。
  1微動并聯(lián)機器人[2]
  “微動并聯(lián)機器人的研制”課題研制了1臺六_度微動機器人,以其為核心建立了一套包括三_度粗動平臺、顯微視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及周邊輔助設(shè)備的實驗平臺,并重點圍繞微操作機器人的機構(gòu)選型、誤差分析、顯微視覺及系統(tǒng)標(biāo)定等方面做了較深入的研究。具體闡述如下:
  (1) 通過對國內(nèi)外微動機構(gòu)的分析與綜合,設(shè)計出了創(chuàng)意獨特、兩級解耦的串并聯(lián)微動機器人,這在微動機器人領(lǐng)域尚屬首例。
  此串并聯(lián)微動機器人有六個_度,由上(3rps機構(gòu))、下(3rrr機構(gòu))兩機構(gòu)并聯(lián)串接而成[2],它具有上下機構(gòu)運動解耦,運動學(xué)、動力學(xué)及誤差分析簡便,控制成本低,加速度大,可完成粗調(diào)、細(xì)調(diào)2種功能等特點。其具體技術(shù)指標(biāo)如下:外形尺寸為100 mm×100 mm×100 mm,工作空間為40 μm×40 μm×24 μm,運動分辨率為0.2 μm。
  (2) 為了合理地分配精度,充分評估各項誤差對末端執(zhí)行器位姿的影響,我們利用矢量分析的方法建立了串并聯(lián)機構(gòu)結(jié)構(gòu)參數(shù)誤差與位姿誤差的數(shù)學(xué)模型,分析了各項結(jié)構(gòu)誤差對末端位姿的影響程度,并得出了若干對微操作機器人設(shè)計、加工及安裝有普遍指導(dǎo)意義的結(jié)論。
  (3) 對壓電陶瓷驅(qū)動器的驅(qū)動特性、柔性鉸鏈的機械性能、微動機器人末端位姿的選擇、微動機器人的控制方式 ……(未完,全文共6558字,當(dāng)前只顯示789字,請閱讀下面提示信息。收藏微操作機器人系統(tǒng)的研究開發(fā)

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